带光圈的 XY-2Z 4 轴龙门架
可定制
- 连续运动中点差高度测量的理想之选
- 用于 70 x 100 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器
- 减震设计,具有出色的加工值,重复性可达 1µm
- 减少因空气承载样品架而产生的废气排放
- 出色的使用寿命和全天候免维护运行
该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程,每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜,用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上,第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z 轴上。气浮样品架将样品沿 XY 方向移动到光圈上,两个传感器分别安装在 Z 轴上,每个传感器的高度可调整为 100 毫米。
规格
- 标准系统:PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2)
- 行程600 x 600 x 100 x 100 毫米
- 重复精度: 0.2 - ±2 µm
- 速度: 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z)
- 最大载荷150 N (Z)
- 驱动:直线电机(铁芯)、轮廓导轨 (XY) | 滚珠丝杠、直流电机、交叉滚轮 (Z)
- 反馈:直线光栅尺
- 运动控制器ACS, PLC 集成
定制选项:
- 调整行程范围、载体和长度组合
- 安全外壳和不同的底板
- 可擦拭、耐化学腐蚀的表面
- ISO 14644-1 版本(可根据要求达到 1 级)
- 根据定位任务进行 3D 设计,开发个性化解决方案
- 孔径:70 x 100 毫米
- 长 x 宽 x 高:1850 x 1920 x 1150 毫米
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