多轴定位系统 782430:002.26XYZ轴4轴线性
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产品规格型号
- 轴数量
- 多轴, XYZ轴, 4轴
- 构造
- 线性, 自动, 立式, 卧式, 门式
- 应用
- 用于机器人, 工业, 用于检测晶片和计量, 半导体工业, 用于无菌室, 卫生保健应用, 光学应用, 用于显微镜检查, 用于样本制备, 质量控制, 电路板
- 其他特性
- 伺服操控式, 紧凑型, 滚珠丝杠, USB, 高解析度, 线性电机驱动, 电机伺服, 组合模块, 大孔径, 型材轨道用, 快速, 花岗岩板, 精准, 带控制器
- 重复精度
最多: 2.5 µm
最少: 0.3 µm
- 载荷
最多: 20 kg
(44.09 lb)最少: 5 kg
(11.02 lb)- 运行行程
最多: 720 mm
(28.35 in)最少: 100 mm
(3.94 in)- 传送速度
最多: 1,500 mm/s
最少: 150 mm/s
产品介绍
用于半导体的XYZ双检测门户
可定制的
- 是自动检测晶圆/半导体的理想选择
- 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm
- 允许同时整合两个过程
该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。
规格
- 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm
- 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤
- 2个Y轴，每个用于卡盘，最大23公斤/晶圆，最大12英寸/300毫米
- 重复性：1.5 - ± 0.3 µm
- 速度：750 - 1500毫米（XY）/150 - 300（Z）。
- 最大负荷：150 N (XY) / 200 N (Z)
- 驱动：直线电机（无铁），导轨（XY），滚珠螺杆，交流伺服（Z）。
- 反馈：直线光栅，电机编码器
- 运动控制器：FMC-250/280，ACS，PLC集成
- 洁净室等级：ISO 2级
定制的选项：
- 过程适应性，样品架，头/传感器
- 洁净室ISO 14644-1的版本（按要求可达到1级）。
- 机架、振动隔离、外壳、安全概念
- 吸入和循环带盖的连接
- XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度扩展
- 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案
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