气体监控装置 PPM100

PPM100 是 SRS 残余气体分析仪的独立控制器/监控器。它可测量来自 SRS RGA 的分压和来自多达四个电容式压力计的总压。图形输出可通过触摸屏 LCD 显示屏实现。PPM100 具有 8 通道过程控制能力、4 个模拟输入/输出端口、RS-232、USB 和 GPIB 计算机接口以及网络接口。 残余气体分析 PPM100 设计用于监测和控制单个 SRS RGA。通过菜单驱动的用户界面，操作员可以轻松地从前面板对 RGA 参数进行编程（即不需要 PC 主机）。RGA 数据可以模拟扫描、分压与时间、泄漏趋势（带音频信号）或单个质量读数的形式查看。这些数据还可与警报、过程控制继电器和模拟端口相连，用于特定成分气体的闭环控制。 屏幕截图 1 模拟输入/输出 PPM100 有四个可配置的模拟 I/O 端口。这些端口可用作输出，以控制辅助真空设备，如加热器、执行器、离子源、可编程逻辑控制器和节流控制器。作为输入，最多可同时监测四个电容式压力计。 数据记录 所有压力计（和所有模拟输入）的数据均以用户定义的速率存储。典型的应用包括捕捉降泵或排气曲线、监测沉积过程中的质量流量控制器信号，以及监测烘烤或热处理过程中的温度和其他随时间变化的变量。 过程控制 PPM100 提供八个继电器和相应的 TTL 输出。每个通道都可与特定的分压相连。