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立式位移台
PST8E310A
压电
精准
标准
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产品规格型号
方向定位
立式
其他特性
精准, 标准
速度
10 mm/s
重复精度
50 nm
载荷
150 g
(5.29 oz)
产品介绍
光學系列垂直平台 1. 提供10毫米(mm)的運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備高解析1奈米(nm)與標準解析100奈米(nm)之解析度 產品敘述 使用光學式感測元件作為位置資訊回饋核心。 本產品系列適用於各種需要超高精密定位與運動操作的場合,並具備可靠穩定的定位能力與多樣的解析度選擇。 應用 半導體產業 生物醫療 光電/光通訊產業
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Micro&nano_motion&measuring_system
24 页
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