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立式位移台 PST8E510A
压电精准紧凑型

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产品规格型号

方向定位: 立式
其他特性: 精准, 紧凑型, 铝制
速度: 10 mm/s
重复精度: 300 nm
载荷: 150 g
(5.29 oz)

产品介绍

使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程，最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。應用半導體產業生物醫療光電/光通訊產業