SCI TRM-Bar™ 和 QRM-Bar™ 磁性能为您提供所需的灵活性。 磁体组件采用封装磁铁,可根据您的工艺要求进行调整。
SCI 先进的磁性系统功能包括:
多种磁性设计,以满足您的应用需求,
使用 3D 精细元件分析软件设计先进的磁性元件
精心匹配的高强度磁铁,使用自动磁铁棒测量工具进行工厂校准
完全封闭的磁铁和坚固的结构,可
实现多年无故障运行,使用寿命长,多辊系统可用于溅出、溅出或离角溅射。在现场可以轻松完成磁性均匀性调整,
简单的安装程序与垂直解决方案装置
特点
TRM-Bar™ 经
过行业验证的设计,具有数千条目前正在运行的高速率反应模式或金属模式溅射光学级薄膜 MQRM-Bar™ 小型磁铁 4 排设计比 TRM
无等离子形成条纹增加 50% 的强度场
阻抗低于 TRM
QRM-Bar™
更强大的 “正在申请专利” 磁性元件,用于 TCO 和其他电子级薄膜的低阻抗溅射效率提
高了溅射效率降低了功耗和运行成本
SRM80-bar™ 和 TRM80-bar™
高强度磁铁,
采用三维有限元分析软件设计的高级磁性磁性磁性磁性磁性
强度在 1% 以内,
大型磁体,单排设计
轻松安装在任何可能的方向
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