CC的封装极为紧凑,专为80毫米内径的靶材设计,是小型系统或研发系统的绝佳选择。
规格
种类
简单的单端设计,带外置支持,可快速更换靶子,可靠性高,易于维护;适用于80毫米内径靶子。
功率(最大)
20 kW DC或MFAC
V/A
1500 V / 50 A
目标长度(最大)
1000毫米
厚度
122毫米
维护
根据您的日程安排,在您的设施中自己动手;即将推出教学视频。
端块可以保持安装。
典型要求:
每2年更换一次密封套件和衬套(30分钟)。
4年后的静态密封、轴承和皮带(1小时)
可提供定制工具
特点和优势 内部安装端块
填充和排水
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专利;水完全充满目标,以获得更低的工作温度/更高的功率;目标变化时完全排空。
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驱动器
轴承
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独家SCI;经过测试,验证多年无故障运行。
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功率传输
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无刷,获得专利;无需更换刷子,无碳刷粉尘;额定功率高,动力传输可靠。
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真空、水封
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双唇和冗余;可容忍干涸的运行;无需拆除端块即可轻松更换;可监控
目标附件
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连接到任何供应商的靶子上,以实现经济采购;高承载力;快速更换靶子。
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安装
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可使用现有的安装孔和公用设施连接以任何方向安装;可调节磁棒溅射角度。
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驱动器
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坚固可靠的变频电机和皮带驱动;允许设计的灵活性,容易改变TTS距离;监控旋转。
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