离子溅射磁电管 SM

我们最大的外置式端块，SM可以容纳最大4000毫米的目标（支持），其额定功率可达200千瓦直流或80千赫MFAC。 它采用与我们的内部端块相同的专利技术，以提供突出的价值、性能和可靠性，但具有更广泛的基板覆盖面和可定制的驱动轴长度。 型式。 简单的单端设计，如果需要快速更换靶子，可提供外置支持，可靠性高，易于维护；适用于125毫米内径靶。 功率(最大)：200 kW DC或MFAC。 V/A: 1500 V / 450 A 目标长度（最大）：4000毫米 维护。 可在您的日程表上和您的设施中自己动手；提供指导视频。 端块可以在连接外部公用设施时保持安装。 典型要求： - 每2年更换密封套件和衬套（1小时）。 - 10年后的静态密封、轴承和皮带(3小时)