CM 是我们最紧凑的外部安装端组。 它可以处理高达 1000 毫米的目标,额定功率高达 20 千瓦直流或 80 千赫 MFAC。
CM 外部安装端组结合了高性能和可靠性,结合了非常紧凑和轻量化的设计。
特点
可定制的驱动轴长度
紧凑灵活的设计方
便使用的水封筒
专利的电力输送技术
专利的目标灌水和排水
简单的设计,减少部件
磁铁棒外部调整到任何角
度基板覆盖范围比内部端板
适合大多数腔室设计。
所有公用设施均为外部设
备,并在目标转换期间保持连接高包装密度;220 mm 空间内的双阴极(80 mm ID 目标)
驱动电机可以上下安装或向内安装,或向外安装
高功率无感应式加热冲击-无刷灰
快速、简单、内部维护
允许共溅射、更紧密的等离子耦合,并限制屏蔽涂层
---