旋转磁电管 CM
平面用于离子溅射

旋转磁电管
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产品规格型号

技术参数
旋转, 平面, 用于离子溅射

产品介绍

CM 是我们最紧凑的外部安装端组。 它可以处理高达 1000 毫米的目标,额定功率高达 20 千瓦直流或 80 千赫 MFAC。 CM 外部安装端组结合了高性能和可靠性,结合了非常紧凑和轻量化的设计。 特点 可定制的驱动轴长度 紧凑灵活的设计方 便使用的水封筒 专利的电力输送技术 专利的目标灌水和排水 简单的设计,减少部件 磁铁棒外部调整到任何角 度基板覆盖范围比内部端板 适合大多数腔室设计。 所有公用设施均为外部设 备,并在目标转换期间保持连接高包装密度;220 mm 空间内的双阴极(80 mm ID 目标) 驱动电机可以上下安装或向内安装,或向外安装 高功率无感应式加热冲击-无刷灰 快速、简单、内部维护 允许共溅射、更紧密的等离子耦合,并限制屏蔽涂层

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