旋转磁电管 TC-Series

用于离子溅射

TC 系列内部端组采用最紧凑的设计，采用独特的输电技术。 TC 可处理高达 1500 毫米的目标，额定功率为 40 千瓦直流或 80 千赫 MFAC。 SCI 内部安装端块具有高可靠性和简单易于维护的设计。 单端配置减少了旋转和静态密封件的数量，这是旋转阴极中最常见的失效模式之一。 我们独特的灌水和排水功能可以改善目标冷却和在冲击时全排水目标水。 该设计消除了端块内部电镀腐蚀的可能性，从而导致漏水和短路。 溅射组件的 TC 内部安装端块可以安装在任何新的涂层机上，也可以轻松地替换平面系统。 特 点 获得专利的动力传输技术 独特的目标附件方法 耐用、长寿命旋转密封件 最紧凑的设计适用于标准的工业目标 非专有目标设计 适合标准目标尺寸 专利目标注水/排水功能优点 出色的可靠性 易于安装 快速目标更换 2 小时年度维护; 3 小时总端块重建 非常低的维护成本 使用任何供应商的目标 出色的功率能力，无感应加热冲击-无刷灰 无电镀腐蚀