旋转磁电管 cMC-Series

旋转磁电管 - cMC-Series  - Sputtering Components
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产品规格型号

技术参数
旋转

产品介绍

我们最新的产品 CMC 是 MC 的更薄版本,是我们的中型内部安装端块。 CMC 可处理高达 2500 毫米的目标,额定功率高达 100 kW 直流或 80 kHz MFAC。 SCI 端块具有高可靠性和简单易于维护的设计。 单端配置减少了旋转和静态密封件的数量,这是旋转阴极中最常见的失效模式之一。 我们独特的灌水和排水功能可以改善目标冷却和在冲击时全排水目标水。 该设计消除了端块内部电镀腐蚀的可能性,从而导致漏水和短路。 溅射部件的 CMC 端块可以安装在任何新的涂层机上,也可以轻松取代 Soleras 紧凑型旋转端块或平面系统。 特点 专利输送技术 独特的目标附件方法 耐用,使用寿命长的旋转密封件 行业标准安装盖 非专有目标设计 专利目标填水 abd 排水 磁铁棒可以在任何角度设置 最高效益市场上的可靠性 易于安装或从竞争对手端部改造最 快的目标变化可用 1 小时的年度维护; 3 小时的终端部块重建 最低维护成本 使用任何供应商的目标 高功率且无感应加热影响-无刷灰 无电镀腐蚀

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。