陶瓷抛光机 FAM5 series

片材自动单面

- SpeedFam的50-SPAW和59-SPAW机器是用于裸硅片加工的自动化单面机械化学抛光系统。我们自动运输陶瓷安装板（装载和卸载硅片）。这些系统配备了各种先进的技术，如低热膨胀的抛光板和冷却夹套，独立的强制驱动和每个工艺载体的精密压力控制。