边缘抛光机 EP-X series

工业自动表面

SpeedFam EP-X系列是高产量的边缘抛光机，适用于300mm、200mm和150mm的硅片。除了我们独特的三面抛光（上/下斜面和硅片顶点），我们还提供定向平坦和凹槽区域镜面抛光，以去除损伤并准备好整个边缘斜面区域的领域。 自1988年以来，SpeedFam已经为原生晶圆出货了大约550台边缘抛光机。SpeedFam 边缘抛光机是全世界原生晶圆工厂使用的边缘准备的全球标准。SpeedFam支持300mm、200mm和150mm原片生产。 SpeedFam EP-X系列是高产量的边缘抛光机，适用于300mm、200mm和150mm的硅片。除了我们独特的三面抛光（上/下斜面和硅片顶点），我们还提供定向平坦和缺口区域镜面抛光，以去除损伤并准备好整个边缘斜面区域的领域。