边缘抛光机 EPD-X series

工业自动

EPD是一种通过抛光图案化晶圆来改善晶圆边缘的系统。EPD在关键的工艺节点去除边缘斜面上的异物和不需要的物质。SpeedFam是用于生产原生晶圆的边缘抛光机的先驱。我们在300mm、200mm和150mm晶圆上使用这个系统，并取得了惊人的效果。 自1988年以来，SpeedFam已经为原生晶圆出货了大约550台边缘抛光机。SpeedFam 边缘抛光机是全世界原生晶圆工厂使用的边缘准备的全球标准。SpeedFam支持300mm、200mm和150mm原生晶圆生产。 SpeedFam EPD是一款用于改善300mm、200mm和150mm图案化晶圆边缘的边缘抛光机。与蚀刻或其他简单的清洗等边缘处理相比，EPD采用浆料抛光动作，可大幅改善晶圆边缘。装备有抛光后清洁装置，可实现干中干加工。