水冷水机组 ThermoRack 1801

紧凑型电热

半封闭式冷风机。 ThermoRack 1801 等离子蚀刻和其他半应用的高容量机架式冷水机。 1,800瓦的冷却能力--在同样的5U机架式机箱中，比ThermoRack 1201多50%的冷却能力。 ±0.05°C 温度稳定性/重复性 工作温度范围为-20°C至70°C 设计用于快速响应 可提供标准高流量、中流量和低流量配置。 减少晶圆与晶圆之间的差异，消除第一晶圆效应。 与基于压缩机的冷水机相比，节能高达80%。 采用热电技术，可靠性高，维护成本低。 设计简单--只有2个活动部件 消除氟利昂和其他有害的制冷剂，以符合新的环境法规。 使用较少的设施用水和昂贵的冷却剂，如Fluorinert或Galden。 尺寸紧凑。1台压缩机制冷机最多可以安装6台TR1801系统。 提供AMAT、LAM、TEL和日立系统的通信接口。 万能电源--插上电源就能去世界任何地方。 是等离子体蚀刻、等离子体灰、CMP和其他工艺的优秀解决方案。