化学浴温度控制系统
板载温度控制单元取代了在线加热器或冷却器/加热器。
直接加热/控制湿台中的工艺流体。
低流量、单通道化学品温度控制
操作范围:-40°C至90°C
环境温度:-10°C至40°C,不冷凝
稳定性/可重复性:-±0.2°C(典型配置)。
加热能力:-3000瓦
加工液:-
适用于H2SO4/H2O、SC1、SC2电镀槽或。
其他PFA铁氟龙兼容流体
流动率。 -
4-10加仑/分钟(15-38升/分钟),带平行流(4:1接头)。
0.5-2加仑/分钟(2-8升/分钟),带串联流量(低流量选项)。
最大压力: - 工艺。40°C 时为 90 psig,90°C 时为 55 psig。
铁氟龙接头: - 3/4 "或1 "Flaretek,或铁氟龙管存根。
润湿材料。 - 工艺流体仅流经HDPFA特氟隆管。
尺寸(长x宽x高):-。
17.5" x 11.25" x 4.65" (44.4 cm x 28.6 cm x 11.8 cm),带绝缘材料。
16" x 9.75" x 3.15" (40.6 cm x 24.8 cm x 8.0 cm),不含绝缘材料。
电源要求
(单独装置): - 开关量6600设置为0-144 VDC,0-24安培。
标准 - 半S2-0200,符合F47标准,CE标准
保修:-2年
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