水循环冷却装置 ThermoRack 1201

半导体工业紧凑型机架式

ThermoRack 1201是一款19英寸机架式热电循环冷水机，专门用于。 半导体制造 等离子蚀刻 等离子灰 太阳能和平板显示器制造 操作范围：-10°C至80°C。 环境温度：-10°C至40°C，不冷凝 稳定性/可重复性：-±0.05°C，在恒定负载下（甚至接近环境）。 冷却能力： -高达1340瓦特@20°C的20°C设施水。 加热能力： -高达2000瓦特@20°C，20°C设施水。 冷却剂/加工液： - 乙二醇/水混合液，Fluorinert/Galden或HFE。 工艺流体接头： - 1/2" 世伟洛克。 泵： - 14 升/分钟 (3.7 克/分钟) @ 30 psig，带 HFE。 水箱容积：-5.7升（1.5加仑），带2个液位传感器。 设施用水：-4-19升/分钟(1-5加仑/分钟)@10-35°C，经过过滤、处理的再循环设施冷却水。 设施用水接头： - 1/2" 世伟洛克(316不锈钢) N2/CDA(可选)： - 500 sccm -30°C露点或更低的CDA或N2。 30-60 psig (2-4 bar) 用于低温操作。 润物细无声。 - 工艺：铝、不锈钢和聚合物 铝、不锈钢和聚合物 设施。 铁氟龙浸渍阳极氧化铝。 和不锈钢 尺寸(宽x深x高)： - 19" x 24" x 8.7" 5U (48.3 x 61 x 22.1厘米) 重量：-70磅（31公斤） 电源输入：200-240 VAC 1相，50/60 Hz，最大10安培。 - 200-240 VAC单相，50/60 Hz，最大10安培。 断路器： - 16安培200-250VAC 2极，带30mA GFCI。 遥控EMO：-外部干触点 通信。 - Lam模拟、AMAT CHX和Tel Unity II 报警： - 温度、液位、系统或部件。 故障（显示屏、干触点和机器接口 标准。 - 半S2-0200，符合F47标准，CE。 TUV认证，符合UL、CAN/CSA和EN 61010-1标准。 保修：-2年