固体过滤器 WL series

芯式真空工业

索尔贝格的 WL 系列中高真空过滤器专为需要验证泄漏率并在中高真空条件下运行的工业和半导体工艺而设计。WL 系列具有各种真空专用连接选项，包括 ISO 真空接头和多种过滤介质选项，可提供出色的保护并延长系统寿命。该系列的外壳均经过 100% 的氦泄漏测试，以确保真空完整性，验证泄漏率为 1x 10-5 mbar l/s 或更高。 索尔贝格的 WL 入口真空过滤器系列提供多种配置，包括 高效过滤 化学吸附 高温结构材料 特点 NW16 - NW40 法兰连接： ISO 法兰连接 不锈钢 ISO 法兰 丁纳橡胶 O 型圈密封 无缝拉伸外壳 耐腐蚀碳钢结构 粉末涂层处理（黑色型号） O 形圈外壳密封 不锈钢扭力夹 K100 - K320 连接： 标准 ISO-K 不锈钢法兰 机加工法兰表面符合 RMS63 标准，无涂层 高质量真空服务组件 耐腐蚀黑色粉末涂层碳钢 KF10 差分端口，用于准确读取真空 ΔP 值 ISO 法兰面上的机加工和抛光密封面可在所有法兰类型上实现可靠的真空性能 K200 及更大尺寸的外壳具有圆顶盖，可最大限度地减少变形并提高耐用性