高度真空阀门 XL series球形电驱动用于气体
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产品规格型号
- 种类
- 球形
- 驱动类型
- 电驱动
- 介质
- 用于气体
- 阀体
- 铝制, 阳极氧化铝, 轻型合金
- 应用
- 用于高度真空
- 通道数量
- 2通式
- 其他特性
- 耐腐蚀, 高温, 管路, 双效, 单作用, 带密封圈, 波纹管密封, 电磁
- 压力
0 Pa
(0 psi)- 温度
最多: 150 °C
(302 °F)最少: 5 °C
(41 °F)- 流量
最多: 200 l/s
(52.83 us gal/s)最少: 5 l/s
(1.32 us gal/s)
产品介绍
高真空角阀系列XL提供优异的导热性，使整个阀体的温度均匀，并明显减少阀内气体的凝结。该阀不含重金属，如Ni（镍）或Cr（铬），低溅射率也有助于将半导体晶片的重金属污染降到最低。
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PDF产品目录
Série XL
27 页
MGP series
36 页
