闸阀 XGTP series手动用于中性气体晶圆
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产品规格型号
- 种类
- 闸门
- 驱动类型
- 手动
- 介质
- 用于中性气体
- 应用
- 晶圆
- 压力
最少: 450,000 Pa
(65.3 psi)最多: 600,000 Pa
(87 psi)- 温度
150 °C
(302 °F)
产品介绍
・长寿命：300万次（常温时）
・发尘量：减少至1/5以下（与以前型号相比）
・维护性提高
波纹管更换更容易
可通过顶部拆装们（订制规格）
・安全对策
采用机械式端锁机构
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