闸阀 XGTP series
手动用于中性气体晶圆

闸阀
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
手动
介质
用于中性气体
应用
晶圆
压力

最多: 600,000 Pa
(87 psi)

最少: 450,000 Pa
(65.3 psi)

温度

150 °C
(302 °F)

产品介绍

・长寿命:300万次(常温时) ・发尘量:减少至1/5以下(与以前型号相比) ・维护性提高  波纹管更换更容易  可通过顶部拆装们(订制规格) ・安全对策  采用机械式端锁机构

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