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闸阀
XGTP series
手动
用于中性气体
晶圆
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产品规格型号
种类
闸门
驱动类型
手动
介质
用于中性气体
应用
晶圆
压力
最多:
600,000 Pa
(87 psi)
最少:
450,000 Pa
(65.3 psi)
温度
150 °C
(302 °F)
产品介绍
・长寿命:300万次(常温时) ・发尘量:减少至1/5以下(与以前型号相比) ・维护性提高 波纹管更换更容易 可通过顶部拆装们(订制规格) ・安全对策 采用机械式端锁机构
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