集成光源照亮一个刻度,该刻度由一个间距为 20 微米的增量光栅和一个带有参考标记的轨道组成,用于绝对定位。反射光产生干涉图案,由读数头内的二极管阵列检测。光栅尺和读数头之间的相对移动会产生模拟正弦和余弦信号以及 TTL 形参考标记。
> 体积小巧:6.6 x 5.1 x 1.7 毫米
> 高分辨率: 0.4 纳米 @ 1 米/秒
> 定位速度:高达 10 m/s
> 超高真空兼容性低至 10-11 毫巴
> 工作温度范围:0 °C - 80 °C0 °C - 80 °C
> 粗糙的机械振动环境
> 与 20 µm 间距的各种反射栅尺兼容
> 闭环运动系统
> 机器人
> 半导体工业
> 用于位移测量系统的量规
> 生命科学和显微镜中的高精度样品扫描
> 高分辨率三维打印
> 研发
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