高负载位移台 CHS-9257-1D-15

线性压电长冲程

这种长行程高负载平台配备了 SmarAct 的可更换驱动单元，在需要维修时，可以从平台上拆下整个压电驱动装置。由于可以从平台侧面接触驱动单元，因此在维修时无需将设备从定位装置上拆下。机械设计基于驱动楔块，可确保平台运动的最高分辨率。独立导轨确保沿负载方向直线运动，并可集成位置传感器，实现直接位置反馈和闭环操作。安装孔的样式便于与 CLS92 系列直线运动平台拧紧。可根据要求增加最大提升力。 机械式 最大提升力提升力 [N] - 15 尺寸 [mm] - 92 x 92 x 57 重量 [g] - 935 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 传感器分辨率 (H)CU [nm] - 100 (L) 单向重复性 (H)CU [nm] - ± 200 (S,L) 材料选项 材料选项 - 铝基座为标准；钢基座 (-ST)；钛基座 (-TI)；黑色阳极氧化 (-BK) 真空选项 - 高压（1E-6 毫巴）；超高压（1E-11 毫巴）