测量探头 SP series

光学实验室电气特性

我们的标准纳米探针系统有4或8个闭环机械手。 SMARPROBE SP4是一个最多有4个机械手的探测系统，而SMARPROBE SP8最多有8个机械手。每个机械手都有3个自由度，并配备了纳米分辨率的光学编码器，用于高精度的电气探测。在专用控制软件中实现的智能定位程序和加载多达4个SEM样品桩的能力，增加了任何纳米探测任务的操作难度和整体产量。坚固的机械设计确保了最高的稳定性和易操作性。该探测系统与各种FIBs、SEM和光学显微镜兼容，因此完全适合改造现有的探测装置和集成到新仪器中。SMARPROBE探测系统允许从2-接触EBIC/EBAC到4-和6-点探测测量的电气表征技术，这使得SMARPROBE成为您的故障分析实验室不可缺少的工具。 带探针安装的操纵器 - XYZ闭环 机械手的数量 - ≤ 4 / ≤ 8 样品台 - XYZ闭环 控制 - 指向和点击，操纵杆 探测区域[mm] - 25 x 25 XYZ的扫描范围1 [µm] - 3 热漂移2 [nm/min] - 1 - 10