线性纳米定位平台 SOM-MS-180150
双轴紧凑型闭合回路

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产品规格型号

方向定位
线性
轴数量
双轴
其他特性
紧凑型, 闭合回路, 铝制, 精准, 适用真空, 用于显微镜, 开环, 长冲程
运行行程

103 mm, 123 mm
(4.055 in, 4.843 in)

速度

8 mm/s

重复精度

180 nm, 360 nm, 1,000 nm

产品介绍

SOM-180150在X轴上有123毫米,Y轴上有103毫米,在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台,SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米,宽度为216毫米,高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板,确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] - 286 x 216 x 30 重量[g] - 2500 开环 开环分辨率[纳米] - <1 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)

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