线性纳米定位平台 SOM-MS-12090

双轴闭合回路紧凑型

SOM-12090长226毫米，宽176毫米，高30毫米，是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米，Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台，具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - 1500 开环 开环分辨率[纳米] - <1 选件 材料选项 - 标准的铝制底座；黑色阳极氧化处理(-BK) 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)