高负载位移台 CHS-5237-1D-10

立式压电闭合回路

配备可更换驱动装置的高负载平台，可提供 10 毫米的垂直行程，有效载荷可达 10 N 这种高负载平台适用于科学和工业领域的高可用性应用。它配备了 SmarAct 的可更换驱动单元，在需要维修时，可以从平台上拆下整个压电驱动装置。由于可以从平台侧面接触驱动单元，因此在维修时无需将设备从定位装置上拆下。机械设计基于驱动楔块，可确保平台运动的最高分辨率。独立导轨确保沿负载方向直线运动，并可集成位置传感器，实现直接位置反馈和闭环操作。安装孔的样式便于与 CLS52 系列和 SR-5014 的线性平台拧紧。可选择添加不同的恒力弹簧，以处理高达 10 N 的有效载荷。 机械性能 最大提升力 [N] - 10 尺寸 [mm] - 52 x 52 x 37 重量 [g] - 270 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 传感器分辨率 (H)CU [nm] - 100 (L) 单向重复性 (H)CU [nm] - ± 200 (S,L) 材料选项 材料选项 - 铝基座为标准；钢基座 (-ST)；钛基座 (-TI)；黑色阳极氧化 (-BK) 真空选项 - 高压（1E-6 毫巴）；超高压（1E-11 毫巴）