精准光学缝隙 SMS-20-20

SMS-20-20由两个垂直方向的单缝组成。完全电动化，可精确定义矩形孔的大小和位置。 四个独立的可移动的刀片排列成两对平行的矩形方向，相互之间。该设置允许独立地定义宽度和高度的孔径大小，边长从0到20mm。位置传感器允许对每个刀片进行闭环定位，以精确地定义20×20毫米的外壳窗口内的孔径大小和位置。有专门的版本可用于高真空和超高真空环境。也可以提供定制的版本。请不要犹豫，与我们联系，讨论您的具体要求。 机械性能 尺寸[mm] - 75 x 75 x 20 开环 速度[毫米/秒] - > 20 分辨率[纳米] - < 1 闭环 闭环分辨率MCS2 [nm] - 1 (S) 4 (L) 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - ±30 (S) ,±60 (L) 闭环分辨率（H）CU [纳米] - 50 (L) 闭环重复性，全行程 (H)CU [nm] - ±1000 (L) 选项 材料选项 - 钢底座（-ST）；钛底座（-TI）；黑色阳极氧化处理（-BK） 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)