三脚定位系统 TRIPOD 92-6DoF
6轴XYZ轴线性

三脚定位系统
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产品规格型号

轴数量
XYZ轴, 6轴
构造
线性, 旋转, 三脚
应用
真空
重复精度

50 nm

运行行程

6 mm, 31 mm
(0.24 in, 1.22 in)

产品介绍

两个 TRIPOD 92-6DoF 运动系统中较大的一个有六个自由度,使用 SMARSLIDE 高精度压电平台,也与 CLS-92 模块化系统完全兼容。 TRIPOD 92-6DoF 的核心部件是 TRIPOD 92-Core 平行运动尖端倾斜平台。其设计有三个径向排列的塔架,可实现顶板的滚动和俯仰运动,Rx 总行程为 31°,Ry 总行程为 27°,Z 方向的线性平移为 11 毫米。在 TRIPOD 92-Core 的顶部有一个 SR-5714C 旋转平台,可绕 Z 轴进行无限旋转。TRIPOD 92-Core 与 CLS-92 模块化系统完全兼容,可放置在由两个 CLS-92 线性平移平台组成的 XY 平台上。底板可直接安装到带有 25 毫米栅格的标准光学面包板上。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。