SR-9219C 平台配备了陶瓷轴承,具有完全的超高真空兼容性。
此外,还提供由非磁性材料制成的版本。由于其外部尺寸和安装孔型,该旋转平台可以直接安装到 CLS-92 和 MLS-92 系列的线性平台上。
机械结构
行程 [ - ∞
锁紧力矩 [Ncm] - ≥ 10
最大法向力 [N] - 25法向力 [N] - 25
尺寸 [mm] - 92 x 92 x 19
重量 [g] - 250
孔径 [mm] - 30
开环
角速度 [°/s] - 15
开环分辨率 (H)CU [µ - < 50
开环分辨率 MCS2 [µ - < 1
闭环
传感器类型 - S
传感器分辨率 [µ - 15
角速度 [°/s] - 15
材料选项
材料选项 - 铝作为标准材料;钢底座 (-ST);钛底座 (-TI);
性能选项 - 更高的闭锁扭矩
真空选项 - HV (1E-6 mbar);UHV (1E-11 mbar)
无磁选项 - 是 (-NM)
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