高负载位移台 SHL-1D80N-1
立式多轴精准

高负载位移台 - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 立式 / 多轴 / 精准
高负载位移台 - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 立式 / 多轴 / 精准
高负载位移台 - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 立式 / 多轴 / 精准 - 图像 - 2
高负载位移台 - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 立式 / 多轴 / 精准 - 图像 - 3
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产品规格型号

方向定位
立式
轴数量
多轴
其他特性
精准, 紧凑型, 铝制, 适用真空, 闭合回路, 高负载, 开环
运行行程

1 mm
(0.039 in)

速度

1 mm/s

重复精度

40 nm, 200 nm

产品介绍

高负载垂直平台,能够在 1 毫米的行程范围内提升 80 N,精度达到纳米级。 SHL 系列线性平台专为处理重负载而设计。其机械设计基于一个驱动楔,可确保平台运动的最高分辨率。独立的导轨保证了沿负载方向的直线运动,并可集成位置传感器,实现直接位置反馈和闭环操作。用于提升部件或设备的纯垂直运动的平台可配备额外的恒力弹簧,以抵消有效载荷,使其达到更高的值。 甚至更高。因此,纳米编码平台可以在几毫米的范围内提升 10 公斤的重量,而基于 SHL 系列线性平台的多轴系统则可以在所有三个维度上提供较高的阻挡力。 在提供高有效载荷的同时,SmarAct SHL 平台仍然非常紧凑,也适用于空间受限的场合。 机械性能 自由度 - 1 最大提升力 [N] - 80提升力 [N] - 80 尺寸 [mm] - 41 x 86 x 50 重量 [g] - 340 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 传感器分辨率 (H)CU [nm] - 100 (L) 单向重复性 (H)CU [nm] - ± 200 (S,L) 材料选项 材料选项 - 铝作为标准;钢基座 (-ST);钛基座 (-TI);黑色阳极氧化 (-BK) 真空选项 - HV(1E-6 毫巴);UHV(1E-11 毫巴)

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