多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLL
六足式线性旋转

多轴纳米定位系统
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产品规格型号

轴数量
多轴
构造
六足式, 线性, 旋转
重复精度

100 nm

运行行程

17 mm, 62 mm, 330 mm
(0.67 in, 2.44 in, 12.99 in)

产品介绍

大型 SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑块,在 X 方向上的移动范围极大,达到 330 毫米。 SMARPOD P-CLL 在 Y 方向上使用 SLC 定位器,在 X 方向上使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合,P-CLL 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围,同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程,请随时与我们联系。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。