多轴纳米定位系统 SMARPOD 225.75
六足式线性旋转

多轴纳米定位系统
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产品规格型号

轴数量
多轴
构造
六足式, 线性, 旋转
其他特性
带有并联机构, 高真空
重复精度

50 nm

运行行程

24 mm, 42 mm
(0.94 in, 1.65 in)

产品介绍

SMARPOD 225.75 的底板直径为 225 毫米,在 X-Y 方向的行程为 42 毫米。 SMARPOD 225.75 的有效载荷最大可达 5 N。它是较大的 SmarAct SMARPOD 之一,在 X 和 Y 方向的行程范围为 42 mm,在 Z 方向的行程范围为 24 mm。底板可选配安装柱,用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。