多轴纳米定位系统 SMARPOD 70.42

六足式带有并联机构高真空

小型 SMARPOD 70.42 是最紧凑的系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。