3轴纳米定位系统 NMM-1

激光光学工业

以纳米精度对物体和结构进行定位、操作、处理和测量 - 世界上最精确的纳米定位和纳米计量设备 - 测量和定位范围 25 x 25 x 5 毫米 - 分辨率 0.1 纳米 - 精度最高的 3D 定位和测量系统 - 探测系统，例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、三维微型扫描仪 - 开放式设备结构可应用定制传感器 - 通过 PC 软件控制 NMM-1。提供用户 API。 用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机的测量范围为 25 mm x 25 mm x 5 mm，分辨率为 0.1 nm。特殊的传感器布置确保了在所有三个坐标轴上的测量均无偏差。三个微型干涉仪的测量轴实际上相交于探测传感器和被测物体之间的接触点。 被测物体直接位于可移动的镜角上。镜角的位置由三个固定的微型干涉仪检测。镜角通过三轴驱动系统定位。两个角度传感器用于测量和补偿定位过程中的角度偏差。 一个稳定激光器发出的光通过光纤从电子单元传输到干涉仪头。因此，纳米定位和纳米测量设备的设计结构紧凑、温度稳定。