OEM应用干涉仪 SP 5000 DI/F

亚纳米级位移测量长度测量光学

超稳定紧凑型差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热超稳定传感器设计，温度灵敏度 < 10 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 结构紧凑、坚固耐用 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：14 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口可用作反馈系统 - 多种触发选项 超稳定、结构紧凑的 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间进行高度稳定的长度测量的应用而设计。传感器设计紧凑，即使在狭小的空间内也能实现长期稳定的调整和放置，因此该精密测量系统非常适合用作闭合控制回路的激光尺。应用中需要一个外部参考点，通常将其置于测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能达到亚纳米级的长度分辨率。通过使用 SP 系列的反射镜，可以轻松实现几米的测量。