高精度量块校准系统
- 使用两个对准的测头进行测量
- LM 20 激光干涉仪测头确保了高测量精度和线性度
- 校准 122 块量块组只需 15 块标准量块
- 重新校准工作量小,节省成本
- 用户指导测量顺序,节省测量时间
- 可校准特殊的公称尺寸和材料
- 整个测量范围内线性度高
- 在整个测量范围内探头测量力恒定
- 校正试样和正常温度
- 材料温度传感器(可选 4 个)
- Windows 电脑软件
用于校准量块的 EPP 量块校准系统使用 LM 20 激光干涉仪作为上部测量探头。它的测量范围为 20 毫米,分辨率为 1 纳米。根据布伦瑞克物理技术研究所的测定,在量块校准过程中,该探头的测量误差小于 10 nm。这意味着,根据德国联邦物理技术研究院的建议,122 个量块组所需的标准量块数量可减少到 15 个。
通过校准程序,可以确定并纠正量块测试仪的线性误差(偏差、探头倾斜、温度影响)。量块测试站的舒适操作以及测量值的校正、评估和输出均可通过 PC 机上的软件 "InfasGAUGE"(并行量块校准)完成。
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