校准干涉仪 SP 5000 TR

OEM应用子皮米级位移测量长度测量

三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP 5000 TR 三光束激光干涉仪是一种精密长度测量仪器，它将三个干涉仪集成在一个设备中。所有三个测量通道都由一个具有相同高稳定激光频率的光源提供。因此，可以同时测量三个长度值，精度达到纳米级。