针对批量超高纯度 (UHP) 气体监护传输进行了优化
直接质量流量测量
无活动部件、100:1 的关断率、低压降
内置流量调节功能,降低直通要求
现场验证,便于现场校准
概述
780S 是北美销量第一的在线热式质量流量计(2009 年,马萨诸塞州波士顿 Flow Research 公司)。我们的超高纯度 780S-UHP 是半导体工厂、制药生产和其他超洁净工艺中大宗气体分配服务的行业首选。对气体使用情况的实时监控可提供有关生产区域消耗和使用模式的可靠信息,并可用于计费和诊断目的。
产品优势
半导体工厂大宗气体分配监护转移服务的行业选择
超高纯度内饰
按照超高纯度净化室标准制造和运输
Sierra 拥有最先进的 ISO 9000 闭环校准设施,可实现最佳精度
内置流量调节元件大大降低了上游直通要求
对焊连接和 VCR 探头连接接头
现场验证/配置,确保运行性能:
现场量程
流量累加器和警报
压降极低
无活动部件
流量范围调整、验证和诊断
双量程功能
大型 LCD 显示屏和按钮界面,可远程安装在机柜中
免费计算机接口软件
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