热质量流量调节器 SideTrak® 840

用于气体不锈钢模拟

直接监测质量流量，无需辅助压力和温度传感器 带检修孔的专利直传感器管便于清洁，减少停机维护时间 铂金传感器消除了零漂移，确保了长期的可重复性 快速响应控制阀可对设定点变化做出快速响应，并可在很宽的压差范围内工作 主要标准校准确保起点精度和 NIST 可追溯性 提供各种外壳、过程连接、输入/输出选项和控制电子设备 CE 认证 描述 Sierra Instruments 的 Side-Trak® 830 型质量流量计和 840 型质量流量控制器设计用于精确测量和控制 0 至 10 sccm 至 0 至 500 slpm 范围内的空气和工艺气体。由于所有与介质接触的材料均为 316 不锈钢，因此该设备适用于大多数清洁气体，包括腐蚀性气体。 经过超过 25 年的现场安装验证，Side-Trak 产品系列的独特之处在于其获得专利的可清洁大直径传感器管，以及这一特性所带来的可靠性和可维护性。由于微观污染层对小直径传感器管的影响很大，因此许多质量流量计和控制器的精度或重复性会随着时间的推移而降低。 Side-Trak 传感器不仅直径大于大多数其他 MFM 和 MFC，而且安装在流体的侧面，两端都有检修口。如果发生堵塞或污染，可使用 Sierra 提供的直径为 0.03 英寸的清洁棒进行清洁。