EB 蒸发镀膜机
应用领域
通过电子束蒸发器对金属箔进行涂层,生产金属和氧化物层,用于各种功能应用。
工程与技术
EB 蒸发涂布机是一种卷对卷批量设备,可用于大规模生产和研发工作。
沉积区围绕两个工艺鼓布置。通风和冷却工艺鼓的专利设计可确保有效去除基材上的热量。
一次运行可在相对较薄的基底上沉积厚度达 5 µm 的双面和单面涂层。
涂层沉积前,会对基底进行等离子预处理和金属附着层处理,以确保涂层质量和附着强度。
沉积是通过 12 支电子束枪(每个滚筒 6 支)产生高速蒸发来实现的。每个蒸发器包括一个水冷坩埚和蒸发锭进料装置。
蒸发锭的可控补充和对每个坩埚上蒸发熔液水平的持续监控确保了涂层的均匀性。
多腔室设计可在预处理区、溅射区和蒸发区之间提供必要的压力差。
泵站采用 CTI-Cryogenics 车载冷冻泵。
软件控制的卷绕系统配有称重传感器,并在工艺鼓上采用特定的基材铺展方法,确保卷材处理时不会出现刮痕和褶皱。
控制系统可在自动和手动模式下运行。
数据表
基材:金属箔
基底宽度:最大 600 毫米
基底厚度: 20 ...100 微米
卷筒直径:最大 300 毫米
---