磁控溅射镀膜机 SAF25/50

多功能研发集群工具 SAF 应用 SAF25/50 多功能研发集群工具适用于薄膜技术领域的研发工作、可行性研究和一般学术工作。 工程与技术 该工具是一个多功能、可扩展、模块化和灵活的系统。该工具包括一个带离子枪的输入/输出室、带径向伸缩传送臂的中央基底传送室和多达 7 个沉积室。基底水平放置在支架上。在向上沉积过程中，沉积区可用于基底旋转或移位。 工具的多功能性和灵活性基于以下主要特点： - 通过单独的泵送装置、控制装置和公用设施连接，每个腔室都可独立运行。 - 沉积室和沉积源可互换。 - 中央传输室可防止工艺交叉污染，并确保基底传输时无需对各室进行排气。 - 可集成各种类型的沉积源，包括升华热室、电阻舟、坩埚和溅射磁控管。 - 双、单和双溅射磁控管可由直流、脉冲直流、中频和射频电源供电。 - 提供接触式和非接触式基片冷却和加热。 - 可增加用于在惰性气体环境中装载基片的手套箱和基片库。 - 通过在腔体上安装预先商定数量的空心法兰，可以安装定制的仪器和技术附件。