搬运机器人

铁液密封，可定制 1-3 种不同产品 根据空腔为客户量身定制手臂和手指的长度设计 满足 10-6Pa 真空要求，耐热 具有碰撞保护和 AWC 功能 SIASUN洁净室自动化产品经过数年的技术沉淀，现已形成系列化单品，重点建设模块化单元和设备平台，以成套化、规模化为发展目标。机器人应用主要覆盖集成电路设备、平板显示、光伏、电子等领域。SIASUN 可为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程，完全拥有自主知识产权和核心技术。SIASUN洁净室机器人技术水平处于国内领先地位，达到国际先进水平。 目前，洁净室产品用户已遍布全国十多个省市和台湾地区。工业应用遍及 ETCH、MOCVD、MEMS、CMP 等领域，满足 PVD、CVD、TRACK、PHOTO、IMP 等半导体工艺要求。同时，机器人的性能不断提高，机器人的耐高温和耐腐蚀性能不断改善。更多的灵活性和更高的性能，以及定制化的设计可以满足客户最大化的需求。