质量流量调节器 MFC2000

用于气体IP40

MFC2000 系列专为清洁干燥气体的通用质量流量控制应用而设计。它采用公司的 Thermal-D 传感芯片，可用于已知扩散系数的非腐蚀性气体。 MFC2000 系列质量流量控制器采用 Siargo 专有的 MEMS（微机电系统）热量测量和扩散传感技术（Thermal-D ®）制造，可测量流动介质的热量和扩散性。与传统的热量测量传感技术相比，该技术在全动态范围内具有更好的线性度，消除了具有相似热扩散率的气体的敏感性，并在使用气体转换系数时提高了测量和控制精度。它还能同时输出瞬时流动介质温度数据，提高热感应方法的温度性能。