熟化炉 STS-VCS

真空

STS系列是几十年来在设计和制造低微粒炉方面的经验的结晶。 经验的结晶。这些可靠的系统能够完全去除残留的溶剂。 均匀的温度分布、压力控制、干燥的惰性气氛以及精确的加热和冷却速率管理。 精确管理加热和冷却速率。 产品细节 特点。 1. - 真空加工，压力控制极佳 2. - 操作温度：环境温度至450°C（可选高温版：环境温度至550°Q 3. - 温度均匀性：停留期间为±5°C 4. - 平行于晶圆的层状气流 5. - 泵和清洗循环以减少O：含量 6. - 可选的工艺管理软件。SEMI E5-0308和SEMI E30-0307兼容模块 标准配置。 1. - 更快的过程。 3.5小时与8小时以上 2. - 层流减少/消除了微粒 3. - 低于10ppm的O：在3个泵和清洗循环后的浓度 4. - 更完整的固化（减少5倍的放气）。 5.减少1.6倍到2倍的电力和N：消耗 6.资本成本低得多，CoO降低2-3倍 应用。 1. - 聚酰亚胺/PBO固化 2. - BCB烘烤 3. - 低温聚合物固化 4. - 铜退火 5. - 低K电介质固化 部门 1. - 先进包装 2. - CMOS图像传感器 3. - 盘出式晶圆级封装（FOWLP） 4. - 半导体前端退火和脱气 5. - 射频器件