这是一套全新的评估系统,用于测量以往硬度计无法测量的微小区域的材料强度,如半导体、LSI、陶瓷、硬盘、气相沉积薄膜和薄涂层。它还可用于评估塑料和橡胶的硬度。该仪器的独特之处在于可测量动态压痕深度,而非测试后的压痕。这反过来又允许测量传统方法无法测量的极薄薄膜和表面(处理)层。此外,这种方法还能提供计算试样弹性模量所需的数据。
1.根据标准(ISO 14577-1 附件 A)评估硬度和材料参数
标准(ISO 14577-1 附件 A)
2.高精度评估弹性模量
3.测试力小,测量分辨率为 0.196 μN...
根据标准(ISO 14577-1 附件 A)评估硬度和材料参数
根据 ISO 14577-1(硬度仪器压入测试)附件 A,测量试样被压入时的行为,并评估硬度、弹性模量和压入过程中所做的功。
高精度弹性模量评估
根据仪器刚性和压头形状进行修正,对弹性模量进行高精度评估*1。
测试力小,测量分辨率为 0.196 μN
使用 0.196 μN 的高分辨率控制测试力。这样就可以测量微小区域和试样最外层表面的材料强度特性。
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