红外线片材厚度监测仪测量半透明片材的厚度,如电池隔膜、低反射涂层,如黑色抗蚀剂和硅。它可以用于从实验室水平到生产中的在线100%检测的所有应用。红外吸收系统由一个紧凑的镜面探头和一个透射式光学系统组成,可以同时测量多个参数,如100多个波长的薄膜厚度、密度和成分。
1 测量半透明片、低反射膜、硅等的厚度,这在光学干涉仪中是很难做到的
2 紧凑的探头
通过采用一个30毫米的小反射探头,它可以安装在设备或生产线的小空间里。此外,由于探头只用一根光缆与主体连接,因此具有良好的耐环境性。
3 高速测量
在100个点或更多的地方同时对950纳米至1650纳米的近红外波长进行采样
4 厚度测量重现性0.1%或更低(3σ)
5 测量算法
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