固定式测厚仪 SKM-iFTM series

用于膜光谱反射率

成像膜厚监测仪是一种计量工具，可以直观地看到透明多层膜的膜厚分布。 通过使用光谱反射仪，它能以0.1纳米的厚度分辨率显示薄膜厚度分布。 观察薄膜厚度的均匀性 在显微镜视场内测量薄膜厚度/质量，显示三维分布情况 薄膜厚度分辨率： <0.1纳米 良好的厚度分辨率，相当于光谱分析工具。 波长可以从450nm到750nm选择，精度为1nm。 高速/多层测量，可达 9 层 由光谱反射仪进行平行处理 先进的应用 几百次重复的薄膜，如带通干扰滤波器和复合多层薄膜，如沟槽结构 利用有效介质近似法（EMA）进行亚微米级的图案密度估计 局部区域结晶度评估，如激光退火