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固定式测厚仪 SK-FTM-Map series用于膜光谱反射率带自动校准功能
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产品规格型号
- 类型
- 固定式
- 应用
- 用于膜
- 所用技术
- 光谱反射率
- 校准
- 带自动校准功能
- 测量范围
300 mm
(11.81 in)
产品介绍
晶圆测绘单元能够在高达300毫米的晶圆的整个表面上自动测绘膜厚。自动对准功能、自我校准功能和高平整度的晶圆夹头使得薄膜厚度测量高度可靠。该装置与紧凑型薄膜厚度监测仪结合使用。
它可以安装在半导体制造设备的装载口，在保持清洁的同时控制制造设备上的薄膜厚度。
1 可以对最大300毫米的晶圆进行自动膜厚测绘测量
2 自动对准功能
3 自动校准功能
4 通过采用高平整度的晶圆夹头，提高了在晶圆表面的测量可靠性
5 支持自动化
6 负载端口安装
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