CVD镀膜机 RT-Parylene Coating-CVD-3

热蒸发薄膜派瑞林

皇家技术公司提供聚合物涂层服务和涂层设备，用于使用聚对二甲苯（Parylene）纳米薄膜进行防水涂层。 聚对二甲苯涂层技术广泛应用于航空航天、珍贵文物、硅橡胶、密封件、磁性材料、微机电系统、电路板、传感器、生物医学等领域。二甲苯涂层产品可提高强度和温度绝缘性、耐磨性、耐化学性（稀释化学品）、耐腐蚀性。目前，世界各地的许多大型企业都在使用我们的设备。 什么是对二甲苯？ 它是一种无色透明的聚酯保护材料。它适合在室温下进行真空镀膜，真空镀膜压力低于 10-5 托，而聚对二甲苯镀膜过程约为 0.1 托。涂层厚度可控制在 1-100 微米之间。该涂层是美国在 20 世纪 60 年代初开发的一项专利。它最早应用于美国...印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972 年列入美国...标准： MIL-I-46058C 微米和纳米加工技术：化学气相沉积 (CVD) 将粉末状纳米材料放入真空纳米涂层设备的蒸发室中，在 150℃-180℃ 的温度下蒸发成气态分子。在真空（1.0*10-2torr）的作用下，10 纳米以下的气态纳米分子进入裂解 在裂解室中，680℃-700℃的高温将活性单体裂解，活性单体与单体再聚合，形成致密无针孔的纳米膜层。