CVD镀膜机 RT-Parylene Coating-CVD-1

派瑞林真空用于光电技术

什么是对二甲苯？ 它是一种无色透明的聚酯保护材料。它适合在室温下进行真空镀膜，真空镀膜压力低于 10-5 托，而聚对二甲苯镀膜过程的压力约为 0.1 托。涂层厚度可控制在 1-100 微米之间。该涂层是美国在 20 世纪 60 年代初开发的一项专利。它最早应用于美国...印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972 年列入美国...标准： MIL-I-46058C 微米和纳米加工技术：化学气相沉积 (CVD) 将粉末状纳米材料放入真空纳米涂层设备的蒸发室中，在 150℃-180℃ 的温度下蒸发成气态分子。在真空（1.0*10-2torr）的作用下，10 纳米以下的气态纳米分子进入裂解 在裂解室中，680℃-700℃的高温将活性单体裂解，活性单体与单体再聚合，形成致密无针孔的纳米膜层。 应用： 1.电路板涂层： 对二甲苯真空气相镀膜可增强电路嵌入性，消除表面水分、金属离子和其他污染物。涂层不会改变电阻、热电偶和其他元件的功能。聚对二甲苯涂层可保护工程电路中的敏感元件。